硅片承載器是什么高科技嗎？硅片承載器其實(shí)也稱之為花籃 ，說(shuō)白了硅片承載器就是一個(gè)載具，硅片承載器的出現(xiàn)也是為了適應(yīng)光伏行業(yè)的需求。例如太陽(yáng)能硅片承載器能夠滿足半導(dǎo)體及太陽(yáng)能硅片的各種生產(chǎn)工藝和要求。

  承載器被鉤入一個(gè)晶片籠，然后這個(gè)籠子被水的液壓放入到容器中并且用一個(gè)蓋子密封起來(lái)。

  容器中安裝有幾個(gè)水和氣的噴嘴（功能圖如下所示）。對(duì)于去離子水和壓縮空氣兩種介質(zhì)，低壓噴嘴（可達(dá)2bar）和高壓噴嘴（可達(dá)6bar）都是可用的。在晶片籠旋轉(zhuǎn)清洗的過(guò)程中要使用去離子水和壓縮空氣。這樣是為了確保承載器的所有部位都被去離子水均勻噴涂。然后，使用無(wú)菌空氣風(fēng)干晶片，紅外線燈風(fēng)干。

可使用的閥門：

  蓋米600隔膜閥控制了去離子水的主要供給裝置。在這里，通過(guò)多通道閥組，去離子水被分配到容器中的各個(gè)噴嘴中。去離子水的溫度為60°C。

無(wú)菌熱空氣（大約60°C）通過(guò)蓋米554角座閥被送入裝置中，并且也被多通道閥組轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的擴(kuò)散器中。這個(gè)過(guò)程是和用去離子水清洗同步執(zhí)行的。

再生的廢氣通過(guò)蓋米451蝶閥排放。隨后產(chǎn)生的凝聚物通過(guò)蓋米610隔膜閥排放。

一個(gè)帶有電子位置指示器的蓋米410蝶閥在用過(guò)的去離子水這里起到排水閥的作用。